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ICP光譜儀和火焰原子吸收光譜儀是有很大區別的，通常意義上來說，它具有儀器簡單、抗干擾能力強、靈敏度高、選擇性好、精密度高、操作方便等等特點。下面是對其進行具體的分析。

1）抗干擾能力強。一般不存在共存元素的光譜重疊干擾，主要是化學干擾。

2）選擇性好。原子吸收光譜是元素的固有特征，這是其選擇性好的根本原因。

3）檢出限低。火焰原子吸收光譜分析法的檢出限約為ng/mL級。

4）用樣量少。火焰原子吸收光譜分析法的進樣量為3--6mL/min。

5）精密度高。原子吸收光譜的強度取決于自由基態原子的個數，受溫度變化的影響很小，這是原子吸收光譜分析法的精密度比原子發射光譜分析法的精密度好的原因。

6）單元素的定量分析。每次進樣只能測量一個元素，這是其缺陷之一

7）應用范圍廣。可以測絕大多數金屬與準金屬元素，還可以間接測量非金屬元素。